质量流量计用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制,广泛用于分析测量仪器。其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精密度和准确度,进而影响整机分析结果的准确性和可靠性。
气体质量流量计用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制,广泛用于分析测量仪器。其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精密度和准确度,进而影响整机分析结果的准确性和可靠性。
市场上现在所用的气体质量流量计种类繁多,分为直接式和间接式两大类,间接式尤以热式居多,热式虽然使用较多,但也有其中的缺点,下面为大家详细介绍一下热式和差压式的优缺点:
热式与差压式气体对比:
热式气体/控制器(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量,这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点;可以同时测量4种参数:气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压,并且可以同时显示和输出。虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷:长期加热的工作模式产生的热漂移,反应速度慢等缺点是不可避免的。而采用差压原理的气体/控制器几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰客户的问题。